NS系列接觸式微觀輪廓臺階測量儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術,使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。
SuperViewW3D表面形貌白光干涉輪廓儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。SuperViewW具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點。
中圖儀器4nm高分辨率掃描電鏡憑借空間分辨率出色和易用性強,用戶能夠非常快捷地進行各項操作。甚至在自動程序的幫助下,無需過多人工調節,便可一鍵得到理想的拍攝圖片。
SuperViewW白光干涉表面形貌3D輪廓儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,測量單個精細器件的過程用時短,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
中圖儀器材料分析掃描電鏡臺式電鏡緊湊的外型,能夠不受場地尺寸制約,真正做到了空間適用性,用戶甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時CEM3000也能根據用戶需求,輕松移機,一臺機器多處開花。
NS系列微觀形貌臺階高測量儀通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協同工作,結合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數)、膜層厚度及應力分布,為材料研發、工藝優化與質量管控提供可靠數據支持。